菲格斯又出了哪些高精度的直驱产品？

搬运、组装、检测、切割

龙门结构、直线电机和驱动器，单驱结构；

μm级重复定位精度；

直线电机驱动、光栅尺反馈；

用于精度激光切割设备、检测设备（AOI）、

激光打标设备等高精密设备；

参数：

有效行程：根据需求定制

定位精度：±3μm

重复精度：±2μm

垂直度：±3arc-sec

最大速度：1.5m/s

最大加速度：1G

直线度：±2μm/300mm

分辨率：0.1μm

材质：大理石00级别